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对样品的电气性能进行测试,确认失效样品的失效模式,并提供相关数据,为后续的失效分析提供信息。
测试项目: 电阻、电容、电感等参数的测量
测量I/V曲线
Advanced Smart-1 Auto Curve Tracer
Agilent B1500 SemiconductorDeviceAnalyzer
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