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    超声波扫描显微镜
超声波扫描显微镜
 

u主要用途
利用超声波来探测单一材料内部气泡,裂纹等,多种材料粘合界面分层。
u
 
性能参数
a)超声波带宽频率范围1MHz~500MHz;
b)Transducer选择:15MHz、30 MHz、50 MHz、100MHz、230MHz;
c)具有T-Scan穿透扫描模式;
d)扫描范围0.25 x 0.25mm 至330 x 330mm;
e)机械装置最大扫描速度1000mm/s;
f)机构X/Y方向扫描精度±0.1um,Z方向扫描精度±0.005um;

u

 
应用范围
1.检测IC、Power、IGBT等半导体元器件的芯片裂纹、PKG裂纹、分层气泡、Flip chip underfill分层;
2.SMT贴装元器件的检测;
3.材料科学及生物医学方面的检测。

u 

 
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